老化柜是一種環(huán)境烘箱，用于評估多個半導(dǎo)體器件的可靠性，并進行大容量檢查，以檢查是否存在過早失效。這些環(huán)境室設(shè)計用于集成電路（IC）和其他電子設(shè)備的靜態(tài)和動態(tài)老化。

選擇腔室尺寸

腔室的大小取決于老化板的大小、每個老化板中的產(chǎn)品數(shù)量以及每天滿足生產(chǎn)要求所需的批次數(shù)量。如果內(nèi)部空間太小，零件之間的空間不足將導(dǎo)致性能下降。如果它太大，就會浪費空間、時間和精力。

購買新老化設(shè)置的公司應(yīng)與供應(yīng)商合作，確保熱源具有足夠的穩(wěn)態(tài)和容量，以匹配DUT的負載。

當(dāng)使用強制循環(huán)氣流時，零件可受益于間距，但由于氣流沿整個側(cè)壁分布，烤箱可在垂直方向上更密集地裝載。零件應(yīng)距離烤箱壁2-3英寸（5.1–7.6厘米）。

老化柜設(shè)計規(guī)范

溫度范圍

根據(jù)被測設(shè)備（DUT）的要求，選擇具有動態(tài)范圍（例如，環(huán)境溫度為15°C至300°C（572°f））的試驗箱。

溫度精度

溫度不要波動，這一點很重要。均勻性是指在指定設(shè)置下，試驗箱中高溫度和低溫度之間的差值。在大多數(shù)半導(dǎo)體老化應(yīng)用中，均勻性和1.0°C控制精度的設(shè)定值應(yīng)至少為1。

解析度

0.1°C的高溫分辨率將提供控制，以滿足老化要求

腔室配置

考慮到裝有制冷劑的老化柜，制冷劑的臭氧消耗系數(shù)為零。具有制冷功能的老化柜與溫度低于0°C至-55°C的老化柜相關(guān)。

腔室結(jié)構(gòu)

該腔室可設(shè)計有卡籠、卡槽和檢修門，以簡化DUT板與驅(qū)動板和ate站之間的連接。

箱內(nèi)氣流

在大多數(shù)情況下，帶有循環(huán)氣流的強制對流烘箱將提供熱分布，并顯著提高溫度和熱量向零件的傳遞。溫度均勻性和性能取決于將空氣導(dǎo)向腔室所有區(qū)域的風(fēng)扇設(shè)計。

腔室可設(shè)計為水平或垂直氣流。根據(jù)腔室氣流了解DUT的插入方向非常重要。

自定義ate布線

當(dāng)測量數(shù)百個設(shè)備時，通過孔或測試孔插入導(dǎo)線可能不切實際。定制接線接頭可直接安裝到烤箱中，以便于使用ate對設(shè)備進行電氣監(jiān)控。

如何控制老化烤箱的溫度

老化烘箱使用執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)PID（比例、積分、微分）算法的溫度器。感測實際溫度值和所需設(shè)定值之間的關(guān)系，并向加熱器發(fā)送從無熱量到全熱量的任何應(yīng)用的校正信號。風(fēng)扇還用于平衡通過腔室的溫度。

用于控制環(huán)境烘箱溫度的常見傳感器是電阻溫度器（RTD），鉑基裝置通常稱為PT100。

調(diào)整櫥柜大小

如果使用現(xiàn)有烤箱，基于烤箱熱容量和損耗、熱源輸出和DUT質(zhì)量等因素的基本熱模型將使您能夠驗證烤箱和熱源是否足以達到所需溫度。熱時間常數(shù)短到足以在方向上產(chǎn)生緊環(huán)響應(yīng)。