老化柜是一種環(huán)境烘箱，用于評估多個(gè)半導(dǎo)體器件的可靠性，并進(jìn)行大容量檢查，以檢查是否存在過早失效。這些環(huán)境室設(shè)計(jì)用于集成電路（IC）和其他電子設(shè)備的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)老化。
選擇腔室尺寸
腔室的大小取決于老化板的大小、每個(gè)老化板中的產(chǎn)品數(shù)量以及每天滿足生產(chǎn)要求所需的批次數(shù)量。如果內(nèi)部空間太小，零件之間的空間不足將導(dǎo)致性能下降。如果它太大，就會(huì)浪費(fèi)空間、時(shí)間和精力。
購買新老化設(shè)置的公司應(yīng)與供應(yīng)商合作，確保熱源具有足夠的穩(wěn)態(tài)和容量，以匹配DUT的負(fù)載。
當(dāng)使用強(qiáng)制循環(huán)氣流時(shí)，零件可受益于間距，但由于氣流沿整個(gè)側(cè)壁分布，烤箱可在垂直方向上更密集地裝載。零件應(yīng)距離烤箱壁2-3英寸（5.1–7.6厘米）。
老化柜設(shè)計(jì)規(guī)范
溫度范圍
根據(jù)被測設(shè)備（DUT）的要求，選擇具有動(dòng)態(tài)范圍（例如，環(huán)境溫度為15°C至300°C（572°f））的試驗(yàn)箱。
溫度精度
溫度不要波動(dòng)，這一點(diǎn)很重要。均勻性是指在指定設(shè)置下，試驗(yàn)箱中高溫度和低溫度之間的差值。在大多數(shù)半導(dǎo)體老化應(yīng)用中，均勻性和1.0°C控制精度的設(shè)定值應(yīng)至少為1。
解析度
0.1°C的高溫分辨率將提供控制，以滿足老化要求
腔室配置
考慮到裝有制冷劑的老化柜，制冷劑的臭氧消耗系數(shù)為零。具有制冷功能的老化柜與溫度低于0°C至-55°C的老化柜相關(guān)。
腔室結(jié)構(gòu)
該腔室可設(shè)計(jì)有卡籠、卡槽和檢修門，以簡化DUT板與驅(qū)動(dòng)板和ate站之間的連接。
箱內(nèi)氣流
在大多數(shù)情況下，帶有循環(huán)氣流的強(qiáng)制對流烘箱將提供熱分布，并顯著提高溫度和熱量向零件的傳遞。溫度均勻性和性能取決于將空氣導(dǎo)向腔室所有區(qū)域的風(fēng)扇設(shè)計(jì)。
腔室可設(shè)計(jì)為水平或垂直氣流。根據(jù)腔室氣流了解DUT的插入方向非常重要。
自定義ate布線
當(dāng)測量數(shù)百個(gè)設(shè)備時(shí)，通過孔或測試孔插入導(dǎo)線可能不切實(shí)際。定制接線接頭可直接安裝到烤箱中，以便于使用ate對設(shè)備進(jìn)行電氣監(jiān)控。
如何控制老化烤箱的溫度
老化烘箱使用執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)PID（比例、積分、微分）算法的溫度器。感測實(shí)際溫度值和所需設(shè)定值之間的關(guān)系，并向加熱器發(fā)送從無熱量到全熱量的任何應(yīng)用的校正信號。風(fēng)扇還用于平衡通過腔室的溫度。
用于控制環(huán)境烘箱溫度的常見傳感器是電阻溫度器（RTD），鉑基裝置通常稱為PT100。
調(diào)整櫥柜大小
如果使用現(xiàn)有烤箱，基于烤箱熱容量和損耗、熱源輸出和DUT質(zhì)量等因素的基本熱模型將使您能夠驗(yàn)證烤箱和熱源是否足以達(dá)到所需溫度。熱時(shí)間常數(shù)短到足以在方向上產(chǎn)生緊環(huán)響應(yīng)。